多项选择题
分结深是重要的结构参数，在检验时发现超浅结注入时，判断其造成原因有（）
A.快速热退火及升温速度和保持时间是否准确
B.检查是否有沟道效应
C.检查注入能量系统
D.检查注入速度和时间是否准确
点击查看答案&解析
相关考题
-
多项选择题
以下是离子注入过程中的主要参数的是（）
A.剂量与束流密度
B.射程与注入能量
C.注入角度
D.晶圆 -
多项选择题
下列可能造成离子源沾污的因素是（）
A.离子源是否被沾污
B.真空系统是否漏气
C.原材料是否满足纯度要求
D.光刻胶的碱性元素沾污 -
多项选择题
离子注入机扫描系统中，采用的扫描方式有（）
A.静电扫描
B.机械扫描
C.混合扫描
D.平行扫描
