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判断题
与APCVD相比，LPCVD有更低的成本、更高的产量以及更好的膜性能，因此应用更为广泛。
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APCVD反应器中的硅片通常是平放在一个平面上。
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外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层，分为同质外延和异质外延两大类。
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在半导体产业界第一种类型的CVD是APCVD。
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