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薄膜物理与技术
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填空题
Torr和Pa是两个常用来表示真空度的单位,它们较为准确的换算关系为:()。
【参考答案】
1Torr=133.3Pa
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按照材料状态不同,一般将薄膜分为()薄膜、()薄膜和()薄膜三类。
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