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多项选择题

减薄工序造成混批的因素有哪些()。

    A.来料时晶圆表面的晶圆批号与《晶圆管制卡》不一致
    B.卡物分离
    C.非混合批整批中晶圆表面有不同批号的晶圆
    D.同一型号不同工单号的晶圆放在一起

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