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单项选择题
调压阀的作用是调节泵的（）和保持制程压力的稳定。
A.内部压力
B.温度
C.抽气速率
D.抗污染能力 -
单项选择题
旋片泵是利用（）的原理，通过吸气﹑压缩﹑排气的不断循环实现抽气目的。
A.旋转变容
B.动量传输作用
C.扩散
D.低温吸附 -
单项选择题
所有溅射镀膜设备使用的电源中（）。
A.只有直流电源
B.包括直流和交流电源
C.没有直流电源
D.直流和交流电源都没有
