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填空题
硅气相外延的硅源有（）、（）、（）、（）等。
【参考答案】
四氯化硅（SiCl
4
）；三氯硅烷（SiHCl
3
）；二氯硅烷（SiH
2
Cl
2
）；硅烷（SiH
4
）
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