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全部科目 > 大学试题 > 理学 > 材料科学 > 直拉单晶硅工艺学

问答题

简答题

生长直拉硅单晶用的多晶硅原料,大多数是用硅芯、钼丝或钽管作发热体生长的,分别介绍各种发热体的生产多晶硅料的特点?

    【参考答案】

    硅芯作发热体生长的多晶硅,破碎或者截成段后,经过清洁处理就可以作为拉制硅单晶的原料;
    钽管作发热体生长的多晶硅,......

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