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单项选择题
光刻加工中，（）是整个加工过程中需要处理的原料。
A.光敏抗蚀剂
B.光致抗蚀剂
C.光致抗腐剂
D.光敏抗腐剂 -
单项选择题
微机械采用和（）类似的方法生产，可以像超大规模集成电路芯片一样一次制成大量的完全相同的部件。
A.集成电路制造工艺
B.半导体制造工艺
C.晶圆纳米制造工艺
D.切削制造工艺 -
单项选择题
超微机械加工是指用精密金属切削和电火花、线切割等加工方法，制作毫米级尺寸以下的微机械零件，是一种（）加工技术，多为单件加工和单件装配。
A.三维
B.二维
C.平面
D.镜面
