问答题
简答题
解释晶体晶向对氧化物生长的影响。
【参考答案】
线性氧化物速率依赖于晶向的原因是（111）面的硅原子密度比（100）面的大。因此，在线性阶段，（111）硅单晶的氧化速率......
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