填空题
光化学腐蚀制备掩膜采用（）受到光照射而凝固，不受光的部分仍然为液态，这实质上是将化学加工常规制备掩膜时的（）和（）两道工序合二为一。
【参考答案】
光敏树脂等感光材料；掩膜涂覆；刻划
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