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判断题
对于大马士革工艺,重点是在于金属的刻蚀而不是介质的刻蚀。
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判断题
不正确的刻蚀将导致硅片报废,给硅片制造公司带来损失。
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干法刻蚀是亚微米尺寸下刻蚀器件的最主要方法,湿法腐蚀一般只是用在尺寸较大的情况下刻蚀器件,例如大于3微米。
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各向异性的刻蚀剖面是在所有方向上(横向和垂直方向)以相同的刻蚀速率进行刻蚀。
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