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问答题

简答题

简述光刻工艺的8个基本步骤。

    【参考答案】

    ①气相成底膜；
    ②旋转涂胶；
    ③软烘；
    ④对准和曝光；
    ⑤曝光后烘培（PEB）；
    ⑥显影；
    ⑦坚膜烘培；
    ⑧显影检查。

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