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全部科目 > 大学试题 > 理学 > 材料科学 > 直拉单晶硅工艺学

问答题

简答题

怎样安装调试直拉单晶炉?

    【参考答案】

    清洗炉膛,装入热系统,关紧炉门,启动真空系统,检查单晶炉密封情况,同时打开水冷系统,检查各冷却部位是否水流通畅。开启所有......

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