问答题
简答题
光刻三要素分别是什么？
【参考答案】
光刻胶、掩膜版和光刻机。
光刻胶又叫光致抗蚀剂，它是由光敏化合物、基体树脂和有机溶剂等混合而成的胶状液体。......
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