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单项选择题

LIGA是一种全新的微细加工技术,可以进行批量化生产,其工艺包括()

    A.氧化-腐蚀-扩散
    B.微机械加工
    C.腐蚀-淀积-牺牲层清除
    D.刻蚀-电铸-注塑

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