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全部科目 > 大学试题 > 理学 > 材料科学 > 直拉单晶硅工艺学

问答题

简答题

径向电阻率变化RRV计算公式有哪两种?

    【参考答案】

    (1)对于选点方案A或B,按下式计算电阻率平均百分变化。式中:平均百分变化=[(ρa-ρc)/ρc]*100%ρc硅片中......

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