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单项选择题
正常维护时不需要维护的项目为（）
A.烟囱
B.导轨
C.石英棒
D.清理碎片 -
单项选择题
检测效率波动大，单线留片需要重测硅片（）为EAR-4D经验总结
A.2000
B.3000
C.5000
D.10000 -
单项选择题
SPC中的K值的目标值为（）
A、1
B、2
C、1.5
D、0.8
