问答题
简答题
列出光刻的8个步骤，并对每一步做出简要解释。
【参考答案】
1气相成底膜：第一步是清洗、脱水和硅片表面成底膜处理。
2旋转涂胶：完成底膜后，硅片要立即采用旋转涂膜的方法涂......
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