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单项选择题
蒸发高熔点金属(如钽、钨)可采用()蒸发源。
A.电阻式
B.电子束
C.分子束
D.以上答案都不对 -
单项选择题
质流控制器的作用是用来控制制程气体的()。
A.流量
B.重量
C.压力
D.温度 -
单项选择题
离子镀膜的膜层密度()。
A.低
B.高
C.比蒸发镀低
D.是真空镀膜中最低的
