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单项选择题
溅射粒子入射角爲（）°时溅射率最大。
A.20~30
B.40~50
C.60~80
D.80~100 -
单项选择题
质流控制器的作用是控制（）。
A.制程气体流量
B.膜厚
C.膜的透光率
D.膜的硬度 -
单项选择题
对膜材的（）是离子镀膜的两个不可缺少的环节。
A.溅射和离化
B.蒸发和溅射
C.蒸发和离化
D.烘干和离化
