判断题
APCVD反应器中的硅片通常是平放在一个平面上。
正确
判断题 外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层,分为同质外延和异质外延两大类。
判断题 在半导体产业界第一种类型的CVD是APCVD。
判断题 外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层,即外延层。