多项选择题
金属薄膜制备中常见的蒸发方式有（）
A.电阻丝加热蒸发B.电子束蒸发C.金属蒸发D.离子束蒸发
多项选择题 X射线有可能获得更高的分辨率是因为（）
多项选择题 电子束光刻的特点是（）
多项选择题 EUV技术难点有（）
