多项选择题
离子注入的有点有（）
A.设备简单B.不受固溶度限制C.避免高温过程D.杂质纯度高
多项选择题 掺杂的目的可能是（）
多项选择题 属于绝缘介质膜的是（）
多项选择题 为减少自掺杂现象，可以采取的措施有：（）
