单项选择题 （）可以被离子轰击溅射后在基体表面凝结成较均匀的薄膜。

单项选择题 如果将气体加热至极高温或任其与高能量粒子相撞击，电子可由原分子中释出，形成一带正负电离子的集合体，称爲等离子体或（）。

单项选择题 RF电极与接地间绝缘电阻一般应在（）以上爲佳。