单项选择题
根据扩散系数的定义，其受以下哪个因素的影响最大？（）
A.杂质类型B.扩散时间C.杂质激活能D.温度
单项选择题 扩散的微观机制包括间隙式扩散和（）。
多项选择题 氧化硅在集成电路制造中有哪些应用？（）
单项选择题 下列哪种工艺所制备的氧化层质量最好？（）
