多项选择题
二氧化硅的作用有（）
A.作为器件的保护层和钝化层B.掺杂掩蔽膜C.隔离D.元器件的组成部分
多项选择题 热氧化获得的二氧化硅的特点是（）
多项选择题 低压外延反应器的缺点是（）
多项选择题 以下结构属于异质结的有（）
