多项选择题
低压外延反应器的缺点是（）
A.可以减小自掺杂反应B.对设备要求提高，必须防止泄漏C.工艺温度降低外延层晶格受影响D.缩小了过渡区可用于多层外延
多项选择题 以下结构属于异质结的有（）
多项选择题 外延掺杂的作用是（）
多项选择题 外延层电阻率的检测方法有（）
