多项选择题
外延掺杂的作用是（）
A.控制导电性质B.弥补缺陷C.形成过渡区域D.控制外延层的电导率
多项选择题 外延层电阻率的检测方法有（）
多项选择题 根据外延层工艺中反应物的状态，可以将外延分为（）
多项选择题 SOI应用在集成电路上的优势是（）
