多项选择题
根据外延层工艺中反应物的状态，可以将外延分为（）
A.汽相外延B.固相外延C.液相外延D.反相外延
多项选择题 SOI应用在集成电路上的优势是（）
多项选择题 测量外延层厚度的方法有（）
多项选择题 外延层需要检测的参数有（）
