多项选择题
SOI应用在集成电路上的优势是（）
A.寄生电容小B.速度快C.抗辐射能力强D.能抑制CMOS电路的闩锁效应
多项选择题 测量外延层厚度的方法有（）
多项选择题 外延层需要检测的参数有（）
多项选择题 低压外延的气压可能是（）
