多项选择题
低压外延的气压可能是（）
A.10paB.100paC.100kpD.10kpa
多项选择题 低压外延的优点是（）
多项选择题 外延在半导体生产中的作用是（）
多项选择题 CMP工艺的三大关键因素是（）
