多项选择题
外延层电阻率的检测方法有（）
A.四探针法B.扩展电阻法C.电容法D.红外反射法
多项选择题 根据外延层工艺中反应物的状态，可以将外延分为（）
多项选择题 SOI应用在集成电路上的优势是（）
多项选择题 测量外延层厚度的方法有（）
