问答题
合金薄膜沉积中溅射镀膜和蒸发镀膜有何区别？
由于不同元素的饱和蒸汽压相差较大，最大可达几个数量级，所以蒸发沉积合金薄膜难于保证成分比。而不同元素的溅射产额差别一般不......
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问答题 沉积速率与压力关系如何？
问答题 什么是溅射速率？
问答题 溅射粒子角分布（方向分布）如何？
