问答题
沉积速率与压力关系如何？
一般随着放电的压力增高，离子流增大，溅射速率增加，从而沉积速率亦会增大，但放电压力过高，由于背散射增加，溅射粒子易于返回......
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问答题 什么是溅射速率？
问答题 溅射粒子角分布（方向分布）如何？
问答题 为什么溅射产额与离子的入射方向有关？
