问答题
为什么溅射产额与离子的入射方向有关？
溅射产额随离子入射的角度增大而增大，与入射角的余弦倒数成正比，即正比于。入射角度的增大使得受入射离子级联碰撞的受激粒子更......
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问答题 为什么选用氩气作为放电气体？
问答题 溅射产额与哪些因素有关？
问答题 浸没在等离子体中基片的悬浮电位是多少？
