问答题
解释什么是暗场掩模板。
暗场掩膜版是指一个掩膜版,它的石英版上大部分被铬覆盖,并且不透光。
问答题 例举双大马士革金属化过程的10个步骤。
问答题 什么是硅化物?难熔金属硅化物在硅片制造业中重要的原因是什么?
问答题 什么是阻挡层金属?阻挡层材料的基本特征是什么?哪种金属常被用作阻挡层金属?