问答题
什么是等离子刻蚀？
利用放电产生的游离基与材料发生化学反应，形成挥发物，实现刻蚀。选择性好、对衬底损伤较小，但各向异性较差。
问答题 简述溅射与离子束铣蚀。
问答题 什么是干法刻蚀？
问答题 简述湿法刻蚀。
