问答题
什么是干法刻蚀？
主要指利用低压放电产生的等离子体中的离子或游离基（处于激发态的分子、原子及各种原子基团等）与材料发生化学反应或通过轰击等......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
问答题 简述湿法刻蚀。
问答题 什么是刻蚀技术？
问答题 对光刻的基本要求有哪些？
