问答题
对光刻的基本要求有哪些?
(1)高分辨率 (2)高灵敏度 (3)精密的套刻对准 (4)大尺寸硅片上的加工 (5)低缺陷
问答题 简述几种常见的光刻方法。
问答题 负胶是怎样的?
问答题 简述正胶。