问答题
简述西门子法制备高纯多晶硅的原理,及其反映方程式?
原理是在1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯三氯氢硅,生成多晶硅沉积在硅芯上,形成高纯多晶硅的工艺。反应......
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填空题 当半导体材质中的受主杂质电离时,受主杂质从价带中俘获一个电子,在价带留下一个空状态,这个空状态称作()。
填空题 单晶硅中()(简称寿命)是硅单晶的一个重要参数。
填空题 硅单晶中旋涡腐蚀分布图样很多,但基本上可分为二大类:()分布和()分布。