单项选择题
隔膜真空计精度比较高，误差大约是（）。
A.±0.5%B.±0.1~0.3%C.±0.4%D.±1%
单项选择题 CVD法成膜使用气体原料，通过分解还原、（）、置换等化学反应使薄膜凝结在基板表面的成膜方法。
单项选择题 小型空冷干泵是指哪种型号的泵？（）
单项选择题 下列是ULVAC设备制造中常用成膜方式的是（）。
