问答题
集成电路工艺划分为哪些？
前工序：（1）图形转换技术：主要包括光刻、刻蚀等技术（2）薄膜制备技术：主要包括外延、氧化、化学......
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问答题 简述反应离子刻蚀。
问答题 什么是等离子刻蚀？
问答题 简述溅射与离子束铣蚀。
