判断题 镀膜设备之破真空的气体只能使用氮气，不可使用压缩空气。

判断题 Cryo pump（冷冻帮浦）内装有活性炭可以捕捉气体分子。

判断题 冷泵再生时一般通入高纯氮气作清洗气体。