多项选择题
基板温度控制时，基板冷却、加热方式有（）。
A.追加HeBPB.ChillerC.加热器D.空气冷却
单项选择题 离子源中，将Ir灯丝加热到（）℃后，热电子e-就会释放。
单项选择题 下列关于CVD说法不正确的是（）。
单项选择题 DC电源输出由负载的内在性决定的定律是（）。
