单项选择题
下列关于CVD说法不正确的是（）。
A.PECVD是等离子体增强化学的气相沉积法B.MOCVD是金属有机化合物化学气相的沉积C.Cat-CVD是光CVD沉积技术的一种D.LPCVD是低压化学气相沉积法
单项选择题 DC电源输出由负载的内在性决定的定律是（）。
单项选择题 下列哪种是ULVAC特有的等离子生成方式？（）
单项选择题 通过在Ar气体中导入（）等气体进行溅射，可以形成化合物薄膜。
