名词解释
薄层电阻
结深为xj，长宽相等的一个扩散薄层的电阻（设平均电阻率为），就是该扩散层的方块电阻（或薄层电阻）。
问答题 试说明横向扩散以及横向扩散的主要影响。
问答题 什么是扩散的相互作用？试举一例说明其对半导体器件的制造有何影响及其产生的原因。
问答题 说明氧化气氛对扩散有何影响及原因？
