问答题
什么是扩散的相互作用?试举一例说明其对半导体器件的制造有何影响及其产生的原因。
当两种不同的杂质先后扩入同一晶体内,当第二种杂质扩散时,第一种杂质仍在继续扩散;第一种杂质的后续扩散、最终的分布和结深的......
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问答题 说明氧化气氛对扩散有何影响及原因?
问答题 根据空位机制下的总扩散系数公式,给出本征硅,低浓度掺杂,N型重掺杂及P型重掺杂下的扩散系数公式。
问答题 列出并解释替位杂质在硅中的三种主要扩散机制。