问答题
根据空位机制下的总扩散系数公式，给出本征硅，低浓度掺杂，N型重掺杂及P型重掺杂下的扩散系数公式。
本征硅的扩散系数：硅中空位主要是中性空位；低掺杂（本征）下的扩散系数：杂质浓度与本征载流子浓度几乎相等（n=......
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问答题 列出并解释替位杂质在硅中的三种主要扩散机制。
问答题 试说明扩散工艺中常用的扩散掺杂方法，并说明当前实际工艺中使用的主要方法及理由。
问答题 淀积扩散主要受哪些因素的控制？
