多项选择题
Grove模型建模时，关注的主要运动形式有（）。
A.反应运动B.扩散运动C.脱吸运动D.漂移运动
多项选择题 以下关于CVD的描述正确的有（）。
多项选择题 CVD淀积SiO2薄膜过程中主要涉及的运动有哪些？（）
多项选择题 CVD基本过程包括（）。
