多项选择题
下列属于低真空范围内使用的真空泵是（）。
A.低温泵B.罗茨泵C.分子泵D.螺杆泵型干泵
多项选择题 镀膜基板的输送方法都有（）。
多项选择题 涡轮分子泵的构成包含哪些组件？（）
多项选择题 离子溅射泵的构成包含哪些组件？（）
